Ogólna charakterystyka

Wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy Auriga 60 firmy Carl Zeiss do badania próbek.

Specyfikacja techniczna

• Napięcie przyspieszające regulowane w zakresie 0,01kV – 30kV
• System pozwalający na uzyskiwanie obrazów SE i BSE
• Zdolność rozdzielcza powyżej 2,0 nm @ 1kV, powyżej 1,0 nm @ 15kV, powiększenie: od 20 do 2 000 000
• Zakres ruchu stolika w osi X: 0 ÷ 110 mm, w osi, Y: 0 ÷ 110 mm oraz w osi Z: 1,5 ÷ 40 mm, nachylenie: -5° ÷ +60°, obrót: 360°
• Zapis cyfrowy w rozdzielczości 3072 x 2304 pikseli (7 MP)
• Możliwość badania podłoży o średnicy do 200 mm jak również małych fragmentów

Zastosowanie

• Badanie próbek z materiałów metalicznych, półprzewodnikowych oraz struktur litograficznych, w wysokiej rozdzielczości
• Prosta analiza składu materiałowego oraz topografii powierzchni próbki