HORIBA UVISEL2
Elipsometr spektroskopowy umożliwiający wyznaczanie grubości cienkich warstw z materiałów przepuszczających lub częściowo przepuszczających światło. Możliwy jest także pomiar grubości materiałów wielowarstwowych. Lampa umożliwia dokładne skanowanie widma w zakresie od 190 do 2000nm, a zmotoryzowane ramiona są pozycjonowane w zakresie od 40 do 90 stopni. Oprogramowanie wyposażone jest w bogatą bazę materiałów umożliwiającą dopasowanie modelu do warunków pomiarowych i mierzonych materiałów. Zmotoryzowany stolik umożliwia dokładne spozycjonowanie wiązki na badanym obszarze.
Zakres spektralny:
- Od 190 do 2000nm
Zakres ruchu kątowego ramion:
- Od 40 do 90 stopni
Zakres ruchu stolika:
- X: 0 ÷ 200 mm
- Y: 0 ÷ 200 mm