Ogólna charakterystyka

Zestaw urządzeń firmy Sawatec pracujących w oparciu o zdefiniowaną recepturę pozwala na obróbkę termiczną podłoży.

Specyfikacja techniczna

• Wygrzewanie w oparach HMDS (ang. Hexamethyldisilazane)
• Wygrzewania typu soft i hard bake
• Stabilność temperatury płyt grzewczych do 250°C, z możliwością przeprowadzenia procesu w atmosferze azotu
• Możliwość pracy na podłożach o średnicy do 200 mm, jak również na fragmentach

Zastosowanie

• Wstępne przygotowanie płytki podłożowej
• Utwardzenia rezystu nałożonego na płytkę podłożową
• Obróbka termiczna po procesach