Każda aktywność technologiczna musi być poddawana ocenie. Przede wszystkim – pod względem zgodności oczekiwanych z realnie uzyskanymi parametrami materiałów, elementów i systemów, ale także pod względem uzyskanej niezawodności i przewidywanego czasu poprawnego działania. Dlatego w skład Centrum wchodzi także platforma diagnostyki i charakteryzacji.

Dzięki pomiarom prowadzonym różnymi metodami można optymalizować materiały, właściwości i parametry elementów, układów i urządzeń, jak i same technologie ich wytwarzania. Naukowcy będą również pracować nad rozwojem już istniejących i poszukiwaniem nowych metod pomiarowych.

Platforma zawiera następujące laboratoria:

• pracownia analizy właściwości powierzchni i materiałów, która będzie wyposażona między innymi w wysokorozdzielcze mikroskopy elektronowe, które pozwalają obrazować powierzchnie w skali atomowej
• pracownia analizy składu chemicznego, która zapewni między innymi metody pomiarowe takie jak spektroskopia mas jonów wtórnych i spektroskopia elektronowa rentgenowska
• pracowania charakteryzacji i diagnostyki elektrycznej, która zostanie wyposażona w urządzenia pomiarowe o bardzo wysokiej czułości i rozdzielczości oraz stanowiska przeznaczone do pomiarów właściwości elektrycznych w szerokim zakresie temperatur
• pracownia diagnostyki właściwości magnetycznych, przystosowana do pracy z wysokiej czułości magnetometrami wykorzystującymi superprzewodzące interferometry kwantowe
• pracownia diagnostyki metodami optycznymi i właściwości optycznych, wykorzystująca takie metody jak elipsometria spektroskopowa, spektroskopia luminescencyjna i interferometria, stosowanych m.in. do badania aktywnych struktur mikromechanicznych
• pracowania diagnostyki statycznych i dynamicznych właściwości mikromechanicznych