Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT posiada nowoczesną i zaawansowaną aparaturę badawczą znajdującą się w pomieszczeniach zapewniających optymalne warunki techniczne i spełniające wszystkie wymagania do prowadzenia badań z zakresu tzw. „wysokich technologii”, zarówno w zakresie technologii półprzewodnikowych, jak i biomedycznych i biochemicznych. Aparatura zlokalizowana w laboratoriach pozwala na przeprowadzenie szerokiej gamy procesów technologicznych.
Platforma opracowania nowych materiałów
Platforma modelowania i symulacji
Platforma technologii struktur, przyrządów i układów
Technologie materiałów kompatybilnych z krzemem
Urządzenia do obróbki chemicznej
Urządzenie do osadzania w plazmie metodą PECVD
Urządzenie do osadzania warstw metodą rozpylania magnetronowego
Urządzenie do trawienia w plazmie chlorowej przy pomocy jonów reaktywnych
Chemia rezystów
Chemia rezystów cd.
Czyszczenie podłoży i masek
Fotolitografia
Wafer bonding
Elipsometria
Technologie materiałów niekompatybilnych z krzemem (podstawowo technologia GaN)
Nanolitografia (zawierająca elektronolitografię)
Platforma elektroniki drukowanej
Platforma bioinżynierii
Platforma diagnostyki i charakteryzacji materiałów, struktur, przyrządów i układów